比纳米还小的原子级制造技术是“单原子层技术”或者说“原子尺度制造技术”。它是一种利用扫描探针显微镜将单个原子或分子有序的置于表面上形成“构建块”，最终将“构建块”有序组合成具有特定结构的材料的技术。这项技术对于新材料制造、纳米电子学领域等都具有重要的应用价值。值得一提的是，这项技术的制备精度甚至可以达到0.1纳米级别，因此受到了许多科学家的关注和探索。