工业母机基金是一种专注于投资工业母机行业的基金，该行业包括了生产、制造和销售各类自动化设备、机器人、工业控制系统等领域。以下是一些近年来表现较好的工业母机基金，供您参考：

1. 易方达工业4.0主题灵活配置混合型基金：该基金致力于投资工业4.0相关领域的优质企业，并积极关注新兴技术的发展趋势。

2. 华安工业4.0沪港深股票型基金：该基金专注于投资高端智能装备、智能制造、新材料等工业4.0相关领域中有潜力的龙头企业。

3. 富国工业升级混合型基金：该基金主要关注工业升级领域，投资重点是自动化、数字化、智能化等新兴领域。

需要注意的是，投资基金存在风险，应根据个人的风险偏好进行选择。投资前，建议您了解基金的投资策略、管理团队、历史业绩、费用等相关信息，并注意基金投资组合的分散度，避免过度集中于单一行业或股票。